四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

簡要描述：四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

產(chǎn)品型號：GC-9560-PDD
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-04-09
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四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

硅(SiHCl₃)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		400	25
二氯硅烷(SiH₂Cl₂)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		400	25
甲基二氯硅烷(SiCl₂CH₄)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		200	50
金屬元素及其他元素含量	（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤	——	0.1
	（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤	——	0.3
	鎵（Ga）含量/（µg/kg） ≤	——	0.5
	銻（Sb）含量/（µg/kg） ≤	——	0.5
	銦（In）含量/（µg/kg） ≤	——	0.5
	鈣（Ca）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鉻（Cr）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鐵（Fe）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鉀（K）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鈉（Na）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鎳（Ni）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鉬（Mo）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	錳（Mn）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	銅（Cu）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鎘（Cd）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鈷（Co）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鋅（Zn）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	釩（V）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5

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